1.來自歐洲的設(shè)計

2.低故障率 長壽命 低噪音

3.可選支持超過100步的溫度循環(huán)控制

4.可選支持溫度斜率控制要求

5.可選滿足IP防護54要求

6.可選風冷或者水冷冷卻方式

7.可選寬范圍的運行環(huán)境要求

8.符合歐洲標準的能耗以及環(huán)保要求

9.可選前瞻的工業(yè)4.0互聯(lián)功能，標配Rs232，網(wǎng)口，支持Modbus RTU 和Modbus TCP通訊協(xié)議，支持USB輸出導出導入

10.無觸屏運行

11.可選多級用戶管理

12.可選動態(tài)控溫控流量任務

13.多種接口配套方案可選

14. 高投入與多工序管理：半導體行業(yè)投入巨大，制造工序繁多。DHTChiller-SE 幫助客戶在每個環(huán)節(jié)進行嚴格的質(zhì)量把控，提高產(chǎn)品良品率，確保收益。
15. 溫度穩(wěn)定性與精準度：溫度是影響半導體產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵因素。DHTChiller-SE 提供高穩(wěn)定性和高精準度的溫度控制，保障產(chǎn)品的穩(wěn)定性和可靠性。
16. 全流程支持：DHTChiller-SE 循環(huán)冷卻器和水-水熱交換器支持半導體工藝的前端到后端整體流程，滿足不同環(huán)節(jié)的溫度需求。
17. 豐富的經(jīng)驗與專業(yè)知識：擁有超過16年的溫度控制經(jīng)驗和與知名主設(shè)備機臺直接配套的經(jīng)驗，DHTChiller-SE 為客戶提供標準化和定制化的溫度控制產(chǎn)品，結(jié)合專業(yè)技術(shù)知識，確保滿足半導體工藝中的苛刻溫度要求。
18 全球化服務：DHTChiller-SE 提供全球化服務，確保在全球范圍內(nèi)的半導體客戶都能獲得及時的技術(shù)支持和服務。

1. 硅片制造：提供穩(wěn)定冷卻，確保化學機械拋光（CMP）效果均勻，提高硅片質(zhì)量。
2. 沉積：控制薄膜沉積過程中的溫度，避免質(zhì)量不均。
3. 光刻：調(diào)節(jié)曝光過程中的溫度，防止光刻膠流動，提高光刻精度。
4. 刻蝕：穩(wěn)定刻蝕環(huán)境，防止過熱導致的刻蝕不均。
5. 離子注入：冷卻離子注入過程中的熱量，確保離子分布均勻。
6. 清洗：控制清洗液溫度，提高清洗效果。
7. 電鍍：保持電鍍液溫度，確保鍍層均勻和結(jié)合力強。
8. 測試：提供恒定測試環(huán)境，確保測試數(shù)據(jù)準確。